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In-situ Dry Etching Of InP Using Phosphorus Tri-chloride And Re-growth Inside A Chemical Beam Epitaxial Growth Chamber

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https://doi.org/10.1557/proc-300-203

DOI

10.1557/proc-300-203

其他 期刊:Materials Research Society Symposium Proceedings 作者:R.M. Kapre;W.T. Tsang;P.F. Jr. Sciortino 出版日期:1993
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执笔画素颜 在 2023-05-27 18:24:35 发布,悬赏 20 积分

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