【已完结】 In-situ Dry Etching Of InP Using Phosphorus Tri-chloride And Re-growth Inside A Chemical Beam Epitaxial Growth Chamber 搜知猫

标题	In-situ Dry Etching Of InP Using Phosphorus Tri-chloride And Re-growth Inside A Chemical Beam Epitaxial Growth Chamber
网址	https://doi.org/10.1557/proc-300-203
DOI	10.1557/proc-300-203
其他	期刊：Materials Research Society Symposium Proceedings 作者：R.M. Kapre;W.T. Tsang;P.F. Jr. Sciortino 出版日期：1993
求助人	执笔画素颜在 2023-05-27 18:24:35 发布，悬赏 20 积分
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