标题 | In-situ Dry Etching Of InP Using Phosphorus Tri-chloride And Re-growth Inside A Chemical Beam Epitaxial Growth Chamber |
网址 | |
DOI | 10.1557/proc-300-203 |
其他 | 期刊:Materials Research Society Symposium Proceedings 作者:R.M. Kapre;W.T. Tsang;P.F. Jr. Sciortino 出版日期:1993 |
求助人 | 执笔画素颜 在 2023-05-27 18:24:35 发布,悬赏 |
下载 |
注:热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取的积分/10