• 文献求助详情 已完结
标题

Modifications Of Porous Low-κ By Plasma Treatments And Wet Cleans

网址

https://doi.org/10.1149/1.2779405

DOI

10.1149/1.2779405

其他 期刊:ECS Transactions 作者: Xu K.;G. Vereecke;E. Kesters;Q.T. Le;M. Lux;S.A. Henry;H. Kraus;L. Archer;P.W. Mertens;F. Kovacs;M. Dalmer;E. Gaulhofer;S.J. Luo;Q.Y. Han;I. Berry 出版日期:2007
求助人

流年,回不去的时光¨ 在 2024-11-07 07:28:58 发布,悬赏 50 积分

下载
求助 / 应助时间线

该求助已完结,感谢关注

如需该文献,请重新发布求助,前往发布

不忘初心,牢记使命,为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定,勿将文件分享给他人,仅可用于个人研究学习