标题 | Modifications Of Porous Low-κ By Plasma Treatments And Wet Cleans |
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DOI | 10.1149/1.2779405 |
其他 | 期刊:ECS Transactions 作者: Xu K.;G. Vereecke;E. Kesters;Q.T. Le;M. Lux;S.A. Henry;H. Kraus;L. Archer;P.W. Mertens;F. Kovacs;M. Dalmer;E. Gaulhofer;S.J. Luo;Q.Y. Han;I. Berry 出版日期:2007 |
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