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Modifications Of Porous Low-κ By Plasma Treatments And Wet Cleans

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https://doi.org/10.1149/1.2779405

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10.1149/1.2779405

其他 期刊:ECS Transactions 作者: Xu K.;G. Vereecke;E. Kesters;Q.T. Le;M. Lux;S.A. Henry;H. Kraus;L. Archer;P.W. Mertens;F. Kovacs;M. Dalmer;E. Gaulhofer;S.J. Luo;Q.Y. Han;I. Berry 出版日期:2007
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